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平臺是中科院蘇州納米所重點建設(shè)的產(chǎn)業(yè)研究工程化項目，平臺得到了中科院、省產(chǎn)研院、蘇州工業(yè)園區(qū)各級領(lǐng)導(dǎo)的關(guān)心和支持，已建成超凈室面積1300平方米，采購各類8寸晶圓微納加工、封裝和量測設(shè)備50多臺/套，總投資近億元。平臺建成后將具備硅基微納加工技術(shù)和系統(tǒng)集成技術(shù)，面向新型智能傳感器和半導(dǎo)體器件開展工程化技術(shù)研究...
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